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多晶石墨底板在多晶炉热场结构中位于坩埚下面,四面紧邻石墨侧板,石墨底板下面还有定向凝固块。
石墨底板的合理使用可以达到多晶硅碇在长晶过程中固液界面分布合理效果,利于长晶过程中的杂质排杂,能够大大提高晶体的整体质量。
技术能源与环境是当今世界的两大焦点问题。传统能源的大幅利用,使得环境问题日趋严重,对人类社会的正常运行构成严重的威胁。有效利用清洁、环境又好的新能源是社会历史的必然选择。太阳能是人类取之不尽、用之不竭、环境又好的緑色可再生能源。在太阳能的有效利用当中,光电利用时近年来发展较快、更具活力的研究領域。其中,硅材料是光电利用的主要载体。硅晶体的制备是光伏电池的基础。在太阳能光伏领域,利用定向凝固的方法生产多晶硅锭是普遍采用的方法。同时对多晶炉热场的要求也越来越高,高质量的是石墨底板以及多晶石墨件可以提供更质量硅晶体以及降低生产成本。