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多晶石墨加热器

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产品详情

       石墨加热器作为多晶铸锭工艺中的热源,它的尺寸和位置直接影响了多晶硅晶体生长过程中的温度分布和固态界面,目前采用的顶侧加热器在多晶硅熔融和晶体生长过程中能够获得较好的效率和固液界面。
       石墨加热器作为定向凝固技术的热源,主要通过辐射传热为熔融和长晶过程提供能量,直接关系到硅锭熔融和长晶时的温度场是否合理稳定,因此需要研究不同的加热器尺寸和位置对铸锭炉内的热场分布的影响。对多晶硅凝固过程中温度场进行数值模拟是一种高效和重要的技术手段,可以更经济和快捷地确定和优化工艺条件。