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多晶炉热场又称多晶硅铸锭炉,合理的热场结构以及优质的石墨热场零部件出炉的晶体满足客户的需求,多晶炉热场石墨件的选择也是值得斟酌。
多晶硅铸锭炉是一种硅重熔设备,用于生产大量合格的太阳能级多晶硅铸锭。生产中,将达到一定纯度要求的多晶硅装入炉中,按工艺要求加热、熔化、定向长晶、热处理、冷却出炉。多晶硅重熔化长晶的这样一个核心环境,我们称之为热场。热场不单为多晶硅熔化提供大量的热能,在长晶过和程中又提合理的温度梯度场以得到合乎要求的多晶硅晶体。目的是提供一种设计合理,能有效提高多晶硅加工质量、重量的多晶硅铸锭炉热场结构。
主要由炉体(1),置于炉体(1)内带提升机械吊杆(11)的保温隔热笼体(9),置于保温隔热笼体(9)内保温层(2),置于保温隔热笼体(9)上部保温顶板(10),下部支撑柱(4)的保温隔隔热底板(5),置于保温隔热笼体(9)内固定于保温隔热顶板(10)的加热器(8),固定于支撑柱(4)上面带坩埚(7)和热交换台(3)等构成。由保温隔热笼体的保温层与保温隔热底板、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由档火条(15)和下隔热笼底部保温条(6)腔室分为上、下两部分,由铜电极(12)通电,由进气管(13)进气,等等组成。